Hawk 3轴非接触测量系统提供了视频所有优势,并拥有光学显微镜的高分辨率、****度及测量效果 3轴(X、Y、Z)测量 3轴完整几何PC软件处理数据 10×、50×、100×、200×和400×放大倍率选择 高精度测量台选择:150×150mm;200×150mm(标配)台,且拥有特制的非线性错误纠正校准功能以确保********度 编码器分辨率X/Y=0.5μm;台精度2μm;可重复性精度X/Y=2μm
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